2023年12月14日,“2023行家極光獎”頒獎典禮在深圳舉行,數百家SiC&GaN企業代表聯袂而來,共同見證第三代半導體產業的風采。經過行業專家評委認真遴選評比,中電科風華公司獲得大會“第三代半導體年度設備企業獎”。該獎項主要授予在第三代半導體領域擁有一定聲望,取得重要成績,技術達到行業國內外先進水平,在推動行業發展、技術創新和市場推廣等方面做出優異成績或起到引領作用的企業。
中電科風華公司產品,Mars系列晶圓缺陷檢測設備是第三代半導體材料生產過程中的關鍵設備,用于對碳化硅襯底片、外延片、腐蝕片的缺陷檢測。研發團隊擁有多年半導體量檢測設備的開發經驗,掌握明場、暗場、光致發光等光學檢測技術。該系列設備現已在國內多家頭部襯底、外延、芯片生產企業上線使用。
未來,風華公司將持續技術攻關,致力于半導體產業鏈自主化、國產化建設,為我國第三代半導體產業高質量發展保駕護航!